水路プレート

水冷プレート

水路プレート

ブロックにマシニングセンター等で水路溝を構築し、薄板(1~5mm程度)の蓋を被せて溶接する構造です。この際、水路の耐久性を向上させるために、水路蓋の板厚を完全に溶け込ませる裏波溶接が可能です。また、プレートの平面度を保つために、レーザー溶接で歪みを抑えることができ、溶接後に切削することで±0.05mm程度の平面度で仕上げることが可能です。

業界
半導体製造装置
各種真空成膜装置
素材
アルミ、ステンレス、インコネル、ハステロイ
ロット
1~100個
精度
±0.05~±0.2程度
使用設備
マシニングセンター(縦/横/5軸)
ファイバーレーザー溶接機
TIG溶接機
リークディテクター
用途
成膜装置などで高温になる部分を冷却したり、融点の低い部材を保護するため、または手が触れる箇所の冷却目的で使用されます。