角型アリ溝付チャンバー(アルミ)

真空チャンバー

角型アリ溝付チャンバー(アルミ)

マシニングセンターを使用して、総削りで加工しています。角型のアルミ製チャンバーが一般的です。アルミは軽く、比較的材料費も安価で、削りやすい素材であるため、総削り品が多くなっています。一方で、溶接が難しいことも理由の一つです。

業界
液晶・プラズマTV
半導体製造装置
食品機械
素材
アルミ
ロット
1~100個
精度
±0.1mm程度
使用設備
マシニングセンター(縦/横/5軸)
リークディテクター
用途
これは比較的温度が低い条件で使用されるタイプです。半導体製造では、アルミチャンバーがエッチャー装置で使用されます。