丸形真空チャンバー

真空チャンバー

丸形真空チャンバー

枝管が斜めになっているタイプで、5軸マシニングセンターで加工しています。このタイプはICFフランジが付く可能性が高いです。特殊なICFフランジの加工も当社で行うことが可能です。

業界
液晶・プラズマTV
半導体製造装置
食品機械
素材
ステンレス
ロット
1~100個
精度
±0.1mm程度
使用設備
マシニングセンター(縦/横/5軸)
NC旋盤(汎用旋盤)
NCフライス
ファイバーレーザー溶接機
TIG溶接機
リークディテクター
用途
さまざまな用途で使用されますが、特にCVD装置やスパッタ装置に多く使用されます。