真空チャンバー

丸形冷却付きチャンバー

チャンバーの周りに立体成型した細径パイプを巻き付け、溶接等で固定する構造です。細径パイプの内部には水等の冷却媒体が流れます。処理温度が高く、チャンバーの外側の温度が50度を超える場合に用いられるのが一般的です。むき出しではなくBOX等で覆われている場合は、50度程度では冷却は不要です。作業性は、BOX等で覆われていない方が格段に良好です。そのため、このような冷却を行うチャンバーが多いと思います。

パイプの巻き付けではなく、ジャケット形状や二重管方式のものもあります。温度がさらに高い場合には有効な手段ですが、高価になります。