ICF付真空配管

配管・タンク類

ICF付真空配管

真空配管は、規格のパイプやフランジを取り付けるタイプが大半を占めます。規格の真空フランジにはVF/VG、NW、ICFが一般的です。ICFはメタルガスケットを使用するため(他はゴム製オーリング)、高真空な装置に使用されます。溶接後には必ず真空のヘリウムリークディテクターを使用して漏れがないか検査し、出荷します。

業界
半導体製造装置
各種真空成膜装置
素材
ステンレス
ロット
1~100個
精度
±0.5mm程度
使用設備
マシニングセンター<縦/横/5軸>
NC旋盤<汎用旋盤>
NCフライス
ファイバーレーザー溶接機
TIG溶接機        
リークディテクター
用途
真空配管は、チャンバー内の空気の出し入れに使用されます。チャンバー内を真空状態と大気開放にするために使用され、真空ポンプと接続されることも多いです。