ポート付真空配管

配管・タンク類

ポート付真空配管

真空配管の中には、VCRやUJRといった継ぎ手が付いているタイプもあります。これらは気体の流出入のポートの役割をしています。この場合、内面には鏡面(バフ)仕上げを施したり、電解研磨を実施したりするのが一般的です。

業界
半導体製造装置
各種真空成膜装置
素材
ステンレス
ロット
1~100個
精度
±0.5mm程度
使用設備
マシニングセンター<縦/横/5軸>
NC旋盤<汎用旋盤>
NCフライス
パイプベンダー
ファイバーレーザー溶接機
TIG溶接機        
リークディテクター
用途
真空配管は、チャンバー内の空気の出し入れに使用されます。チャンバー内を真空状態と大気解放にするために使用され、真空ポンプと接続されることも多いです。