配管・タンク類
真空配管の中には、VCRやUJRといった継ぎ手が付いているタイプもあります。これらは気体の流出入のポートの役割をしています。この場合、内面には鏡面(バフ)仕上げを施したり、電解研磨を実施したりするのが一般的です。
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