フランジ類（機械加工）

真空フランジ

半導体製膜装置のチャンバーのフタ部分です。
内部が非常に高温になるため、冷却を目的としてシール面の裏側に水路を設けています。また、ランプヒーターを使用するため、フタの内側は鏡面仕上げと電解研磨仕上げが施されています。

当社は、機械加工+溶接+二次加工を得意としております。
また鏡面仕上げや電解研磨仕上げに優れた技術を持っています。