LPポート

カバー類(板金加工)

LPポート

薬品を使用して洗浄するために、ステンレスでも316Lが使用されます。耐薬品性を向上させたい場合は、インコネルやハステロイ等が使用されます。ステンレスの何倍も高価な材料なので、限定的に使用されます。この製品はパンチング板をロールベンダーで丸めて製作します。公差が厳しく、溶接後に修正して出荷します。

業界
半導体製造装置
各種真空成膜装置
素材
ステンレス インコネル ハステロイ
ロット
1~100個
精度
±0.3㎜程度
使用設備
レーザー切断機
プレスブレーキ(ベンダー)
ロールベンダー
ファイバーレーザー溶接機
TIG溶接機
用途
半導体のウエハー洗浄装置のトレーとして使用されます。