角型溶接式真空チャンバー

真空チャンバー

角型溶接式真空チャンバー

4枚の板でボックスを作り、上下に角型フランジを付けるのが一般的です。複数の板を溶接した後、精度が必要な箇所は二次加工で仕上げます。この場合、フランジには「アリ溝」と呼ばれるOリングの抜け止め用のテーパー溝を構築するのが一般的です。また、角型の場合、マシニングセンターのエンドミルでシール面を加工するため、ツールマークを消すための磨き加工が必要です。当社でも対応可能です。
最近では、マシニングセンターにヘール加工という磨き機能が付いているものがありますが、当社の機械にもその機能が付与されています。

業界
液晶・プラズマTV
半導体製造装置
食品機械
素材
アルミ、ステンレス
ロット
1~100個
精度
±0.1mm程度
使用設備
マシニングセンター(縦/横/5軸)
ファイバーレーザー溶接機
TIG溶接機
リークディテクター
用途
温度が高い場合はステンレス製が用いられ、角型の場合は溶接するのが一般的です。アルミ製でも、大型のチャンバーは溶接構造で使用する場合があります。