ベルジャー

ジャケット(マニホールド)類

ベルジャー

真空チャンバーと同様の製作方法となります。形状がベルに近いため、ベル・ジャーと呼ばれています。用途は様々ですが、漏れ検査前の気体充填や反応前の予備として使用されています。高温の気体を充填するため、外部を冷却する機能があるのが一般的です。

業界
半導体製造装置
各種真空成膜装置
真空ポンプ
素材
ステンレス
ロット
1~100個
精度
±0.1mm程度
使用設備
マシニングセンター(縦/横/5軸)
NC旋盤(汎用旋盤)
NCフライス
パイプベンダー
ファイバーレーザー溶接機
TIG溶接機
リークディテクター
用途
半導体や真空装置で使用され、反応室に入る前の予備として使用されています。