ブローノズル

ジャケット(マニホールド)類

ブローノズル

ブローノズルとは、ブロックに多数の小孔(ガスの流路)を開けて噴射するノズルの役割を果たします。穴径はΦ0.2〜Φ1.0と様々ありますが、小径で深穴のため、マシニングセンターで開けるのは困難です。そのため、当社では小孔の放電加工機を用います。これにより、Φ0.2の穴を深さ200mm程度まで開けることが可能です。穴以外の部分はマシニングセンターで加工します。

業界
半導体製造装置
各種真空成膜装置
工作機械
空調設備
電子デバイス部品
素材
ステンレス、アルミ
ロット
1~100個
精度
±0.5mm程度
使用設備
マシニングセンター(縦/横/5軸)
NC旋盤(汎用旋盤)
NCフライス
小孔放電加工機     
ワイヤー放電加工機
用途
ブローノズルとは、ブロックに多数の小孔があり、ここから気体(ガス)を噴出させる構造で、成膜装置で使用されます。