配管・タンク類

二重配管（テフロンコーティング付）　

二重管の内側にテフロンコーティング（PFA）を施します。流れるガスとメタルイオンが化学反応しないようにPFAの膜を構築します。テフロンコーティングの膜厚は100μm～300μmとかなり厚く、1回の膜厚が50μm～70μm程度なので、数回に分けてコーティングします。