ヒートシンク

水冷プレート

ヒートシンク

形状は様々ありますが、プレート状のブロックにマシニングなどで水路溝を形成し、薄板をレーザーやワイヤー放電で切断して、両者を溶接で接合して水路を形成します。TIG溶接で製作することもありますが、当社ではファイバーレーザー溶接をお勧めしています。利点は、TIG溶接よりも歪みが少なく抑えられることと、深い溶け込み(5mm以上)が可能なことです。また、当社では開先形状なしに5mmまで完全溶け込み(裏波溶接)を実現しています。

業界
半導体製造装置
各種真空成膜装置
素材
アルミ、ステンレス、インコネル、ハステロイ
ロット
1~100個
精度
±0.05~±0.2程度
使用設備
ファイバーレーザー複合加工機
マシニングセンター(縦/横/5軸)
ワイヤーカット放電加工機
パイプベンダー
ファイバーレーザー溶接機
TIGロボット
リークディテクター
用途
成膜装置などで高温になる部分を冷却したり、融点の低い部材を保護するために使用されます。また、ワーク自体の冷却にも用いられます。