高真空ステンレスタンク

真空チャンバー

高真空ステンレスタンク

ステンレスの薄板タンクに内外面磨き材を使用しています。このタンクはパイプが二重構造になっており、パイプとパイプの間に銅パイプを巻きつけています。当社は、板金と細管の曲げパイプの組み合わせ品を得意としています。

業界
半導体製造装置
真空成膜装置
素材
アルミ、ステンレス
ロット
1~100個
精度
±0.1mm程度
使用設備
ファイバーレーザー複合加工機
マシニングセンター(縦/横/5軸)
NC旋盤
パイプベンダー
ファイバーレーザー溶接機
TIG溶接機
リークディテクター
用途
成膜装置などでワークに成膜する本体として使用されます。「反応室」と呼ばれることもあります。内部の気体が高温の場合、二重管にしたり細管を巻き付ける構造にすることもあります。